Typ podłużnego wyprowadzenia próżniowego serii ZP3P z buforem

Typ podłużnego wyprowadzenia próżniowego z buforem serii ZP3P to prowadnica przepływu cząstek przeznaczona do środowisk o wysokiej próżni. Jego podstawową funkcją jest osiągnięcie wydajnej i stabilnej ekstrakcji podłużnych wiązek cząstek. Jednocześnie optymalizuje dynamikę transmisji cząstek poprzez zintegrowane struktury buforowe, aby sprostać wymaganiom precyzyjnych procesów przemysłowych.

Główne cechy techniczne
Architektura podłużnej ekstrakcji próżniowej
Zastosowano osiowo symetryczną konstrukcję kanału próżniowego, aby zapewnić kierunkowy przepływ cząstek wzdłuż głównej osi urządzenia, uniknąć zniekształcenia pola przepływu spowodowanego przez ekstrakcję boczną i utrzymać integralność przepływu powietrza w komorze próżniowej.

Wbudowany mechanizm buforowy
Wbudowany wielostopniowy bufor dynamiczny realizuje wstępną regulację przepływu cząstek o wysokiej energii poprzez bezdotykową regulację gradientu energii, zmniejsza rozbieżność przestrzeni fazowej cząstek i zapewnia wiązkę cząstek z lepszą kolimacją dla dalszych procesów.

Projekt kompatybilności próżniowej
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10^-5 Pa and above.

Optymalizacja dynamiki transmisji
Skoordynowana konstrukcja modułu buforowego i kanału ekstrakcyjnego zapewnia aktywną kompresję widma energii cząstek, skutecznie tłumi straty rozpraszania i poprawia jakość wiązki, co jest szczególnie odpowiednie w scenariuszach zastosowań o rygorystycznych wymaganiach dotyczących monochromatyczności.

Możliwość adaptacji systemów przemysłowych
Standardowy interfejs kołnierzowy umożliwia integrację modułową i można go bezproblemowo łączyć z różnymi próżniowymi komorami procesowymi. Jego nienamagnesowana konstrukcja dodatkowo rozszerza jego zastosowanie w środowiskach wrażliwych na pole magnetyczne.